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제작회사   Philips/EDAM,Inc
     
모델명   XL30 ESEM/Phoenix
     
주요사항   1)Resolution : 3.5㎚
    2)Accelerating Voltage : 200V~30㎸
    3)Electron Gun : W
    4)Magnification : ESEM Mode-x250~x400,000. High
    4)Magnification : Vacuum Mode-x20~400,000
    5)Objective Lens Type : 45° conical
    6)ESEM Mode Pressure Range : 0.1~20 Torr
    7)Specimen Stage : X,Y-50㎜, Z-5~30㎜, T-0~45°, R-360°
    8)EDS Detector : Detecting Range-Be(4)~U(92) or batter
    8)EDS Detector : Resolution-Better than 129eV
    8)EDS Detector : (MnK 1,000cps)
     
응용분야   재료의 미세구조관찰, 결정성, 정성·정량분석, 주사현미경상
    등의 정보 획득. ESEM mode에서 습하고, 더럽고, 기름기
    있고, 기체를 방출하는 시료 등을 관찰할 수 있으며 시료코팅
    과정 없이도 시료분석이 가능.