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제작회사   Veeco
     
모델명   NT-1000
     
주요사항   1.SYSTEM
    1)Measurement capability : three-dimensional, non-
    1)Measurement capability : contact, surface, pfofile
    1)Measurement capability : measurements
    2)Objectives : 2.5X, 10X, 50X
    3)Measurement Array : user-selectable, maximum
    3)Measurement Array : array 736×480
    4)FOV : 1X, 2X
    2.PERFORMANCE
    1)Vertical measurement Range : 0.1㎚ to 1㎜
    2)Vertical resolution : <1Å Ra
    3)RMS Repeatability : 0.01㎚
    4)Scan Speed : up to 7.2um.sec
    5)field-of-View : 2.5㎜×1.9㎜, 1.2㎜×0.9㎜, 0.6㎜×0.4㎜,
    5)field-of-View : 0.3㎜×0.2㎜, 0.13㎜×0.1㎜, 0.06㎜×0.05㎜
     
응용분야   비접촉 형상측정방식으로서 제품의 단차 측정, 표면의 형상,
    거칠기의 값을 3차원 데이타로 표현 및 해석 가능